1.真空泵温度太高
(1)被抽的气体温度过高。办理方案：应让气体冷却后再进入真空泵内。
(2)吸入硬物导致真空泵体磨损。办理方案：应拆开真空泵撤除硬物，对划伤部件进行修复或改换。
微型直流真空泵
(3)真空泵冷却水流量不足。办理方案：应加大冷却水的流量。
(4)装置不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。办理方案：拆开检讨并重新装置。
2.真空泵本身漏气
(1)密封圈漏气。办理方案：检讨所有密封部位的密封情形，改换破损的密封圈
(2)气镇阀垫圈破坏或未拧紧。办理方案：改换垫圈并拧紧气镇阀
(3)排气阀片破坏，密封不好。办理方案：改换气阀片
微型无刷真空泵
(4)真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。办理方案：修整真空泵腔或改换。
(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。办理方案：拆开端盖，检讨是否有杂物或不平整，并进行洗濯或修理。
(6)弹簧变形或折断及旋片动作不灵。办理方案：整修或改换弹簧变形，使转子积旋片合营良好
(7) 进气口的过滤网被堵塞。办理方案：取下过滤网洗濯干净，再装上去。
微型无刷真空泵
(8)真空泵运转中摩擦发热。温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。办理方案：通过冷却水或用电风扇降温，同时，检讨有关部件合营间隙并按规定精度哀求进行修理或改换。
二、真空泵起动困难
1.真空泵已返油。办理方案：用手扳动皮带轮旋转数周，即可启动。
2.由于长期不运转或停机后未放入大气，使真空泵腔内充满真空泵油。办理方案：用手扳动皮带轮旋转数周，即可启动。
微型真空活塞泵
3.油温太低。办理方案：应给油加温或让室内温度保持在15度以上，也可以用手扳动皮带轮旋转数周，再连续通电运转数分钟，即可正常事情。
4. 电源缺相。办理方案：检修电源。
三、真空泵抽不出液体
1.没有贯注液体。办理方案：重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。办理方案：肃清杂物
3.吸入管或真空泵内没有排净气体。办理方案：检修吸入管路并排净气体
微型单头隔膜泵
4.吸上高度超过许可范围。办理方案：按许可吸上高度重新按装真空泵
5.压出管路太细，管路丢失太大。办理方案：换适宜的方法压出管路
6.利用扬程超过了设计扬程。办理方案：重新选真空泵
7.运送热的、挥发性的介质。办理方案：降落吸程或采取倒灌安装。
8.转向反了。办理方案：纠正转向
四、电机、真空泵运转非常。电机超负荷运转、真空泵在运转中非常杂音、噪声、迁徙改变困难或发生“卡去世”征象。
微型双头隔膜泵
1.真空泵温太高，可应让气体冷却后再进入真空泵内。
2.弹簧变形或断裂，使旋片受力不屈均而发出冲击声。办理方案：改换弹簧。
3.装置不当，造成单面磨损。办理方案：重新装置。
4.过滤网破坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生障碍。办理方案：拆真空泵检讨、打消碎屑，修复或改换磨损部件，并装好过滤网。
微型单头隔膜泵
5. 真空泵腔内污染严重，导致零件锈蚀。办理方案：拆真空泵洗濯，去除锈斑，并换油。
6. 真空泵油变成乳浊状，粘度增大。办理方案：改换新的真空泵油器。
7. 电机有故障而产生噪声。办理方案：检修电机或给轴承加上润滑黄油。
